회사소개

흡착척 / 부분흡착척

대진척 / 핀척

포러스척 / 기공척

진공척 / 분할진공척

웨이퍼척 / 히팅척

대형척 / 절연척

Guide Bar, Guide Beam

3D 구조물

Si3n4대형 / 블랙세라믹대형

고정밀 Stage

SIC, Alumina, MMC 구조물

블랙세라믹(핀척)

Bar, Beam, Stage 등 다양한형태 제작

핀척(PIN CHUCK)

Dummy Wafer

기존 SIC, Alumina 대체소재

반도체부품

방산업계 테스트중 (defense contractor)

노비나이트(CD-5) / 하스텔로이 / Lex zero

Super Invar / Invar36 / Invar42

AIN170 / y2o3 / si3n4 / Sic / R-Sic / Si-Sic

LEN금형

블랙, 마시나블, 마코, BN세라믹

단열재 세라믹